By AXUS
Supplier Info
Product Type:
Equipment
Application:
CMP Remanufactured
Product Description:
AXUS-Technologie ist spezialisiert auf die Wiederherstellung von CMP, Wafer Grinding & Wafer Cleaning Equipments sowie die Lieferung von Upgrades und Ersatzteilen.
Der Wafer-Polierer Surface / IPEC 472 ist ein vollautomatisches Präzisionswerkzeug zum CMP-Polieren von Halbleiterwafern, mit dem Flachheit, Gleichmäßigkeit und Planarisierung auf gemusterten/Gerätewafern erreicht werden.
Der Surface / IPEC 472 verfügt über eine automatische Waferhandhabung und ist in der Lage, zweistufige Polierbearbeitungen zu ermöglichen, um die Durchsatzfähigkeit und Qualität von Wafern zu maximieren. Der Surface / IPEC 472 wurde für die Planung von Wafern von 100 mm bis 200 mm entwickelt und eignet sich ideal für Materialien polierende Anwendungen, die Wiederholbarkeit mit Betriebs- und Verarbeitungsflexibilität erfordern. Nur Axus Technology ist berechtigt, ViPRR-Träger-Upgrades für überholte IPEC 372M- und Surface / IPEC 472 CMP-Tools bereitzustellen. Der Surface / IPEC 472 unterstützt eine Reihe von Conditioner- und Carrier-Upgrades.
- Vollautomatisches Präzisionspolieren
- Zwei Platten-Prozess für Post-Pol-Buff
- Mehrfache Gülleabgabe
- In-situ-Pad-Conditioner
- Materialverträglichkeit für mittlere und niedrige ph-Schlämme (1-12)
- Nach unten Kraft bis zu 750lbs.
- Steuerbarer Wafer-Gegendruck
- Polnischer Kopf saubere Station
- Externe Schnittstelle für Endpunktfähigkeit
- Temperaturgeregelte Platten
- Multizone ViPRR Carrier Upgrade
- SECS II-Schnittstelle
Production-proven for oxide, shallow trench isolation (STI), polysilicon, tungsten, and copper planarization applications