Oracle Cluster CVD RIE

Deposition, Etching


Oracle Cluster CVD RIE System


Das Oracle ist das kleinste und flexibelste vollständige Produktionsclustersystem auf dem Markt. Das System besteht aus...

INFO
Back to Top
Trion Orion PECVD

Deposition


Orion PECVD


Das Orion Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition System produziert Produktionsqualitätsfolien auf einer kompakten Plattform. Das einzigartige...

INFO
Back to Top
manueller spincoater

Deposition


Spin Coater ACE-200


Kompakter Spin-Belacker für Proben und Wafer bis 150mm. Komfortable Bedienung.

INFO
Back to Top
Manueller Spincoater TOP-8 von Dong Ah

Deposition


Spin Coater TOP-8


Kompakter Spin-Belacker für Proben und Wafer bis 200mm. Komfortable Bedienung

INFO
Back to Top
Back to Top
Back to Top
Back to Top
Back to Top
Back to Top

Deposition


Atomic Classic


Thermischer ALD-Reaktor für bis zu 8″-Wafer, bis zu 4550°C.

INFO
Back to Top

Deposition


Atomic Premium


Showerhead Thermischer ALD-Reaktor für 4 bis 12″ Wafer, bis zu 500°C (Plasma Prozess verfügbar)

INFO
Back to Top

Deposition


Atomic Shell


Nano-Pulverbeschichtung ALD mit 100cc bis 500cc Reaktorvolumen, bis zu 300°C.

INFO
Back to Top

Deposition, Deposition


Atomic Mega


Vertikalofen Batch ALD für bis zu 12″ Wafer (Boat mit bis zu 100 Wafern), bis zu...

INFO
Back to Top

Deposition


Atomic Basic


Kompakter thermischer ALD-Reaktor für bis zu 6″-Wafer, bis zu 250°C.

INFO
Back to Top