Beschreibung für
Messtechnik und Handhabung im Bereich Halbleiter/MEMS

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Messtechnik

Optische Oberflächeninspektion
Optical Surface Inspection. Lumina AT1 System
Rasterelektronenmikroskope
Scanning Electron Microscope. CUBE 2, Tabletop SEM, placed on a table.
Durchflussmessung & Blasendetektion
Liquid Flow Measurement and Bubble Detection. Ultrasonic Clamp-On Flow Sensor SEMIFLOW co.65 260pi v2.0 from Sonotec
Messgerät für chemische Konzentrationen
Chemical Concentration Meter. Rhosonics B30 Series with quaternary.
Dimensionelle Wafer-Messtechnik
Wafer Dimensional Metrology. RT 3500 from Kovis.

Handhabung

Handhabung von Wafern
Wafer Handling. STC Automatic Notch- /Flat-Aligner.
Automatisierung
Automation. Wafermate300 from Jabil Chat Automation with dual loadport.
Andere
Wafer Handling. STC Automatic Notch- /Flat-Aligner.

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Automatischer Flat- / Notch-Aligner
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Wafer Thickness & 3D Optical Profiler RT-3500
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Ultraschall Clamp-On Durchfluss­messer SEMIFLOW®
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SONOCHECK® ABD06 Luftblasensensor
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