Product Type:
Equipment
Application:
CMP, Wet Processing
Product Description:
Aquarius™ Wafer Cleaner
Der innovative Aquarius™ Wafer Cleaner von Axus Technology verbessert alle Aspekte der Reinigung von 100-, 150- und 200-mm-Wafern, einschließlich Defektivität und Durchsatz. Aquarius™ steigert die Effizienz des Waferreinigungsprozesses, indem es die gleichzeitige Verarbeitung von zwei verschiedenen Wafergrößen ermöglicht. Mit bedeutenden technischen Fortschritten, die die Zukunft der Wafer-Reinigungsanlagen prägen, stellt Axus Technology diesen Wafer-Scrubber der Spitzenklasse auf dem Markt vor.
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